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標(biāo)題: 臺(tái)階儀工作原理 [打印本頁]

作者: 煙火里的塵埃 時(shí)間: 2024-10-14 13:08
標(biāo)題: 臺(tái)階儀工作原理
本帖最后由煙火里的塵埃于 2024-10-14 13:16 編輯

　　臺(tái)階儀測(cè)薄膜厚度的原理主要基于光的干涉現(xiàn)象。以下是基本原理和工作流程：
　　1. 原理
　　當(dāng)光線照射到薄膜表面時(shí)，會(huì)在薄膜的頂部和底部產(chǎn)生反射。兩束反射光之間會(huì)因?yàn)楣獬滩疃l(fā)生干涉，形成明暗相間的干涉條紋。
　　2. 測(cè)量步驟
　　1. 光源發(fā)射：臺(tái)階儀內(nèi)置的光源（通常是激光）發(fā)出單色光，照射到薄膜上。
　　2. 反射光的干涉：
　　光線在薄膜的上表面和下表面反射，形成兩條反射光路徑。
　　這兩條光的相位差決定了干涉條紋的形成。
　　3. 計(jì)算光程差：通過分析干涉條紋，可以得到光程差。
　　4. 數(shù)據(jù)處理：測(cè)得的干涉條紋信息可以通過計(jì)算機(jī)進(jìn)行分析，從而精確計(jì)算出薄膜的厚度。
　　3. 優(yōu)勢(shì)
　　高精度：能夠測(cè)量微米級(jí)甚至納米級(jí)的薄膜厚度。
　　非接觸測(cè)量：避免對(duì)薄膜造成任何物理損傷，適合脆弱材料。
　　4. 應(yīng)用
　　臺(tái)階儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、光電器件、涂層技術(shù)等領(lǐng)域，用于質(zhì)量控制和研發(fā)。
　　通過上述原理和步驟，臺(tái)階儀可以有效地測(cè)量薄膜的厚度，為相關(guān)領(lǐng)域提供重要的數(shù)據(jù)支持。

作者: 一條魚到處跑 時(shí)間: 2024-10-14 14:23
當(dāng)光線照射到薄膜表面時(shí)，會(huì)在薄膜的頂部和底部產(chǎn)生反射。兩束反射光之間會(huì)因?yàn)楣獬滩疃l(fā)生干涉，形成明暗相間的干涉條紋。

作者: 9549872678@8 時(shí)間: 2024-10-23 20:09
這個(gè)問題很有代表性，很多人都關(guān)心。

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